工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：
1、极限真空（通常称为真空度）：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
普通真空表测得的真空值（即：表压）为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。可以由下图看出。
2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。
传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。
随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生，普遍有以下规律： 泵的价格和真空度指标密切相关。
真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等（更多资料可参见这里），这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。
